MILPITAS, Californie, 20 juillet 2020 – ASML, une société spécialisée dans la fourniture aux fabricants de puces d’outils lithographiques pour l’imagerie de motifs sur plaquettes, a remporté le prix SEMI Americas 2020. SEMI a honoré la société basée aux Pays-Bas pour avoir assemblé le consortium industriel qui a dirigé la commercialisation de la lithographie aux ultraviolets extrêmes (EUV). Le prix a été remis aujourd’hui à SEMICON Virtuel Ouest 2020, 20-23 juillet. Le prix SEMI Americas récompense les développements technologiques ayant un impact majeur sur l’industrie des semi-conducteurs et le monde.
Les efforts visant à étendre la lithographie optique à des longueurs d’onde nettement plus courtes que les ultraviolets ont commencé dans les années 1980. Depuis lors, la taille des caractéristiques des circuits intégrés est passée de plusieurs microns à moins de 10 nanomètres (nm) aujourd’hui, ce qui rend le passage à la lumière EUV essentiel.
Le passage à des longueurs d’onde de 13,5 nm a représenté un changement de paradigme, s’étendant à tous les aspects de la génération de lumière, de l’optique réfléchissante, des technologies de masques, de la gestion de l’environnement sous vide, de l’alignement des étages de plaquettes et d’une foule d’autres domaines. ASML a réuni le consortium EUV pour collaborer afin de relever ces défis et a développé des équipements et des processus de production EUV. Le premier système de production a été expédié en 2013 et un total de 57 systèmes sont actuellement installés dans les usines des clients.
«Après plus de 20 ans de R&D soutenue par ASML et ses partenaires, EUV est maintenant utilisé dans la fabrication de puces à grand volume», a déclaré Martin van den Brink, président et chef de la technologie d’ASML, qui a accepté le prix au nom de la société. . «Une collaboration à long terme à travers la chaîne de valeur de cette technologie, des partenaires universitaires aux gouvernements et aux acteurs de l’industrie, a été absolument essentielle à son succès.»
ASML, fondée en 1984, emploie plus de 25 000 personnes représentant plus de 120 nationalités dans 60 sites dans le monde. Il dispose de grandes installations de R&D et de fabrication à San Diego, en Californie; San Jose, Californie; et Wilton, Conn.
«Les réalisations exceptionnelles en ingénierie et dans l’industrie doivent être reconnues et honorées lorsqu’elles incitent des technologies nouvelles et émergentes à améliorer l’industrie des semi-conducteurs», a déclaré le président de SEMI Americas Dave Anderson. «Les limites de la lithographie UV et par immersion-UV ont constitué un obstacle pour les fabricants de puces et ont interrompu temporairement la réduction des effectifs de la microélectronique. Les efforts déployés depuis des années par ASML ont attiré le soutien de la chaîne d’approvisionnement ainsi que l’adhésion des clients, démontrant que l’industrie peut s’attaquer à des problèmes majeurs une fois qu’ils sont réunis.
«ASML a dirigé l’effort de développement de la capacité de lithographie EUV, permettant une poursuite de la mise à l’échelle», a déclaré Bill Bottoms, président du comité consultatif des SEMI Americas Awards. «L’effort impliquait une collaboration avec les clients, les fournisseurs et d’autres parties intéressées et n’aurait pas eu lieu sans leur leadership.»
La plus haute distinction décernée par la région SEMI Americas, le SEMI Americas Award a été créé en 1979 pour reconnaître les réalisations techniques exceptionnelles et les contributions méritoires d’individus et d’équipes dans les domaines des matériaux semi-conducteurs, de la fabrication de plaquettes, de l’assemblage et de l’emballage, du contrôle des processus, des tests et de l’inspection. , Robotique et automatisation, amélioration de la qualité et intégration des processus.
Les critères ont été élargis en 2009 pour inclure des réalisations exceptionnelles dans le développement de technologies nouvelles et émergentes qui devraient ajouter une valeur future significative à l’industrie des semi-conducteurs. Les candidatures sont ouvertes aux personnes ou aux équipes de l’industrie et du milieu universitaire dont les réalisations ont un large impact commercial et une signification technique pour l’industrie des semi-conducteurs. Directives de nomination pour 2021 sont acceptés de la part d’individus ou d’équipes d’entreprises membres de SEMI basées en Amérique du Nord. Un liste des anciens lauréats est disponible en ligne.
En savoir plus sur SEMICON Virtuel Ouest 2020.
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Source: SEMI
