Selon UDN, Huawei a déposé une demande de brevet pour un ultraviolet extrême (VUE) scanner de lithographie. Les fabricants de puces chinois pourraient fabriquer des semi-conducteurs en utilisant sous-7nmune technologie de classe supérieure si l’entreprise développe un scanner comme celui-ci et atteint une productivité, une disponibilité et des rendements respectables. Le seul problème est quand.

Huawei a déposé une demande de brevet sur un scanner EUV et ses composants essentiels auprès de la Office national de la propriété intellectuelle au milieu de Novembre. Selon Mes Conducteursle numéro de demande de brevet est 202110524685X. Selon les descriptions fournies par plusieurs médias, la demande de brevet semble inclure toutes les parties essentielles d’un scanner EUV, y compris un générateur de lumière EUV de 13,5 nm (source de lumière), un ensemble de miroirs réfléchissants, le système de lithographie et « technologies de gestion de contrôle“.

La capacité de construire un scanner EUV, un équipement très compliqué avec plusieurs composants de pointe qui doivent fonctionner parfaitement ensemble et pendant de longues périodes, n’équivaut pas à pouvoir déposer un brevet. De plus, les fabricants de puces doivent encore déterminer les pellicules appropriées pour les masques, les résistances et bien d’autres choses nécessaires à la fabrication à grand volume, même lorsqu’ils ont accès à l’équipement EUV.

L’équipement EUV est limité aux entreprises technologiques en raison de son fonctionnement complexe

De nombreuses entreprises ont essayé de créer cet outil, mais seulement ASML a été un succès après plus de 10 ans de travail et grâce au financement de Intel, Samsunget TSMC. Actuellement, les outils EUV d’ASML sont activement utilisés par Samsung, SK Hynix, et TSMC ; cependant, Intel n’a pas encore commencé à utiliser ces outils pour la fabrication de puces à grand volume. Les seules entreprises qui utilisent ou ont l’intention d’utiliser des scanners EUV sont Intel, Micron, Samsung, SK Hynix et TSMC. De plus, seules ces cinq entreprises ont créé (ou ont l’intention de créer) une technologie de traitement suffisamment avancée pour bénéficier des scanners EUV.

Avec une estimation 100 milliards de dollars en termes de ventes annuelles, Huawei est une entreprise de haute technologie de premier plan qui poursuit de nombreux objectifs et crée une large gamme de technologies. Les objectifs de l’entreprise en matière de fabrication de semi-conducteurs sont largement connus et comprennent non seulement la fabrication de puces, mais également le développement de machines de fabrication de plaquettes.